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径流式涡轮分子泵制造技术
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文档序号:2170858
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一种径流式涡轮分子轮,其动叶轮和静叶轮的一侧或二侧各至少有一排与转轴同心的叶列,叶列由单端与叶轮平面相连的短叶片组成。若干级上述叶轮同轴安装,可以组成串、并联组合的多级泵,单级或多级径流式涡轮分子泵还可以与其它分子泵、以及旋转机械真空泵组合...
该专利属于储继国所有,仅供学习研究参考,未经过储继国授权不得商用。
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