下载一种CdS薄膜化学水浴沉积装置及其制备方法的技术资料

文档序号:21707623

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本发明公开了一种CdS薄膜化学水浴沉积装置及其制备方法,包括:沉积炉,其一端设置有药剂溢流槽,另一端设置有废液收集系统,所述沉积炉底部设置有沉积床,其上连接有多组可转动的阻液滚轮,所述沉积床上设置有带真空吸附的加热板;柔性不锈钢衬底,其连接...
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