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本实用新型实施例公开一种晶圆测试设备，涉及硅晶片测试技术领域，能够提供真空测试环境，从而可以满足对晶圆有真空测试要求的场合。包括：真空系统及测试台，所述真空系统包括箱体及连接于所述箱体上的抽真空模组，所述测试台设置于所述箱体内；所述测试台包...
该专利属于杭州海康微影传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州海康微影传感科技有限公司授权不得商用。

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