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一种离子注入能量的监测方法和半导体结构，所述离子注入能量的监测方法，在半导体衬底上形成第一阻挡层；在所述第一阻挡层上形成半导体材料层；在所述半导体材料层上形成第二阻挡层；在一待监测注入能量下，在第二阻挡层、半导体材料层和第一阻挡层中注入杂质...
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