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本发明公开了一种超薄原子力显微镜测头，该原子力显微镜测头采用一种超薄探针固定模块，探针固定模块包括：悬臂梁探针、压电陶瓷、探针夹持器、第一反射面、第一反射装置和第二反射装置，悬臂梁探针安装在探针夹持器中，悬臂梁探针的针尖位于探针固定模块的最...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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