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本发明公开一种采用低温等离子体制备多孔性热障涂层的装置及方法，主要应用在注塑模具型腔表面的涂层制备上。所述装置包括等离子体反应腔、高压电源、放置嵌件的三维移动平台、预热台、前驱体样品池、成孔剂样品池、气路控制器、气体瓶、真空泵、高压电极、地...
该专利属于北京化工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京化工大学授权不得商用。

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