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本实用新型涉及真空泵技术领域，是一种小抽速无油涡旋真空泵，具有结构紧凑，体积小，极限压力低等特点，抽速为４Ｌ／ｓ。本实用新型所述的转子涡旋盘为三点定位结构，依靠均布的三个曲柄轴部件使转子涡旋盘绕定子涡旋盘沿固定圆轨迹平动，完成抽气过程。所述...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司授权不得商用。

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