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红外激光用反射部件(100)具备：衬底(1)；SiO膜(6)；以及金属膜(3)，其形成于衬底(1)和SiO膜(6)之间。...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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