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本发明公开了一种闭环控制压电驱动在线监测装置，压电驱动装置通过电压源提供的周期性的电压信号产生位移，以驱动样品台上的样品；位移测量装置用于测量样品台上样品的位移；力和位移控制装置用于控制压电驱动装置的位移量；力测量装置用于测量样品台上样品的...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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