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磁控溅射法制备二硼化钛/二氧化锆梯度纳米结构薄膜及其应用制造技术
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文档序号:21652340
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本发明涉及一种TiB2/ZrO2梯度纳米结构薄膜及其应用。它是利用磁控溅射技术,制备得到的TiB2/ZrO2梯度纳米结构薄膜。TiB2/ZrO2梯度纳米结构薄膜由在单晶的硅Si(100)基片上交替沉积TiB2和ZrO2层,TiB2层厚度由上...
该专利属于天津师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津师范大学授权不得商用。
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