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一种面向不同领域应用的硅纳米线微结构调控方法技术
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文档序号:21649798
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本发明公开一种面向不同领域应用的硅纳米线微结构调控方法,包括如下步骤:(1)使用进行硅片表面亲疏水改性,(2)进行湿法化学刻蚀硅纳米线,(3)硅纳米线表面亲疏水改性处理。本发明通过步骤(1)、(3)达到对硅片及多孔硅纳米线表面亲疏水性改变,...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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