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本申请描述了用于从相应工件切割裸片的技术，以及将一个或多个切割的裸片结合到堆叠式装置结构中的技术。在一些实施例中，从工件切割裸片包括在切割线中化学蚀刻工件。在一些实施例中，从工件切割裸片包括在切割线中机械切割工件并沿着裸片的侧壁形成衬垫。裸...
该专利属于赛灵思公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛灵思公司授权不得商用。

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