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文档序号:21635604

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温度控制设备2,包括设置在基板10上的各个位置处的数个主动热部位6,且每个主动热部位包括加热元件13与绝热层16,加热元件13用于将可变量的热施加至介质的对应部位,而绝热层16设置在加热元件与基板之间。至少一个被动热区域8设置在基板10上的...
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