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发明属于电子器件制备技术领域，具体为一种适用于高温压电传感器的绝缘隔离涂层制备方法，中心柱前处理之后进行安装固定，之后放入真空室加热烘烤除气，再溅射清洗后进行过渡层沉积和绝缘隔离涂层沉积。采用在中心支撑结构上沉积微米级陶瓷性金属氧化物或氮化...该专利属于核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司授权不得商用。