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本发明涉及用于制造声换能器的方法，包括:提供具有第一表面和第二表面的基板，第一表面界定第一平面；界定隔离沟槽的沟槽蚀刻掩模；使用沟槽蚀刻掩模来蚀刻隔离沟槽；利用隔离材料重新填充隔离沟槽；界定用于本体、将本体连接至基板的弹性铰链、与基板相关联...
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