下载一种生长炉的新型进气结构的技术资料

文档序号:21603046

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本实用新型公开一种生长炉的新型进气结构,包括设置于生长炉底部的底部进气系统,底部进气系统包括多圈进气口、控制管路和控制阀,多圈进气口的位置根据生长炉内部电极座的位置确定,进气口与控制管路连通,控制阀用于调节控制管路的进气量。本实用新型的生长...
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