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超薄位移平台制造技术
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文档序号:21596372
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本实用新型公开了一种超薄位移平台,包括移动滑轨、基准平台、移动平台,所述移动平台固定设置于移动滑轨上并位于基准平台上方位置;所述移动滑轨上设置有固定架,并通过固定架设置于基准平台的边缘处;所述移动滑轨包括控制移动平台在X向移动的X向模组与控...
该专利属于江苏一六仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏一六仪器有限公司授权不得商用。
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