温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及精密加工技术领域，尤其是涉及一种抛光液及其制备方法和碳化硅晶体的加工方法。所述抛光液，包括按重量份数计的如下组分：聚晶金刚石微粉5‑30份、硅溶胶1000份、悬浮剂2‑40份、润湿剂4‑21份、消泡剂2‑14份和pH调节剂2‑10...
该专利属于盘锦国瑞升科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盘锦国瑞升科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。