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一种MEMS传感器(1)，包括耦合到MEMS接口电路(20)的MEMS换能器(10)。MEMS接口电路(20)包括偏压产生器(100)、差分放大器(200)、电容器(300)和反馈控制电路(400)。偏压产生器(100)产生用于操作MEMS...
该专利属于AMS国际有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AMS国际有限公司授权不得商用。

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