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在所描述的实例中，MEMS装置(206)包封在包含在按体积计大于1％的水平的非金属氧化物气体的密封封装(200)内。在至少一个实例中，所述MEMS装置(206)针对来自各种起因的早期故障受到保护，所述起因包含通过所述非金属氧化物气体的部分与...
该专利属于德州仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过德州仪器公司授权不得商用。

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