下载一种减少翘曲的LED外延生长方法的技术资料

文档序号:21550748

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本发明公开一种减少翘曲的LED外延生长方法,包括:处理衬底、生长AlzGa1‑zN层、生长AlN层、生长MgAlyGa1‑yN层、生长掺杂Si的N型GaN层、生长InxGa(1‑x)N/GaN发光层,其中,x=0.20‑0.25,生长P型A...
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