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本实用新型公开了一种晶圆移动机械手，由软件和控制器控制其移动轨迹，包括：固定支架；升降驱动机构，升降驱动机构安装在述固定支架上；手臂驱动机构，手臂驱动机构与固定支架滑动连接，并与升降驱动机构传动连接；旋转驱动机构，旋转驱动机构设在固定支架中...
该专利属于张琦;马俊涛所有，仅供学习研究参考，未经过张琦;马俊涛授权不得商用。

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