下载一种碱性蚀刻液的循环再生方法的技术资料

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一种碱性蚀刻液的循环再生方法,包括:S1:将再生液槽中的再生蚀刻液输送至碱性蚀刻线(SES)进行蚀刻,而后将产生的废蚀液收集到蚀刻废液槽中;S2:将废蚀液从蚀刻废液槽输送至铜萃取分离器中,用铜萃取剂分离捕集铜离子;S3:萃取后将废蚀液与萃取...
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