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中国兵器工业第五九研究所
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一种多元复合碳化物涂层的制备方法技术
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文档序号:21538895
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本发明涉及一种多元复合碳化物涂层的制备方法。它依次包括:(1)将TaCl5、HfCl4和ZrCl4混合粉末,在惰性气氛下盛装入坩埚内;(2)将基体样品放置在沉积炉支架上,并通入氩气,加热到沉积温度;(3)将盛有混合粉末的坩埚放入双温区气化炉...
该专利属于中国兵器工业第五九研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国兵器工业第五九研究所授权不得商用。
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