下载划刻装置及划刻方法的技术资料

文档序号:21534010

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本发明的目的在于,降低在形成相互平行的多条划刻线时的划刻线的形成位置偏差。对基板进行划刻而形成划刻线的装置具备:划刻轮,其在压接于基板的水平的被划刻面的状态下沿水平方向滚动,由此在基板上形成划刻线;保持器,其以与划刻轮之间具有规定的空隙的状...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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