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去除高纯度惰性气体中水分的净化装置、系统制造方法及图纸
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下载去除高纯度惰性气体中水分的净化装置、系统的技术资料
文档序号:21514522
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本实用新型公开了去除高纯度惰性气体中水分的净化装置、系统,包括:氧化锆陶瓷管,所述氧化锆陶瓷管的内外表面分别设有电极,其中一个电极为正电极,另一个电极为负电极;氧化锆陶瓷管在设定的温度下且所述正电极及负电极通电形成电势差,将通过氧化锆陶瓷管...
该专利属于济南兰光机电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过济南兰光机电技术有限公司授权不得商用。
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