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本发明提供了一种光斑关键参数的测量装置和测量方法，所述光斑关键参数测量装置包括位移台和位于位移台上的一维线振光学传感器，所述位移台包括X方向位移构件和与光传播方向一致的Z方向位移构件，所述X方向位移构件和Z方向位移构件相连，所述位移台驱动一...该专利属于深圳市计量质量检测研究院（国家高新技术计量站、国家数字电子产品质量监督检验中心）所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市计量质量检测研究院（国家高新技术计量站、国家数字电子产品质量监督检验中心）授权不得商用。