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本发明提供一种阀装置，在真空室的压力目标值已变更的情况下，能够迅速且稳定地进行压力调整。阀装置的阀控制器(2)基于压力当前值(Pr)与开度当前值(θr)，以使压力当前值(Pr)接近于压力目标值(Ps)的方式，对阀板(12)的开度进行控制。阀...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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