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本发明涉及一种腔体中实现高真空度的方法及其组合机组。其特征在于：将需抽真空的腔体密封状态下与活性吸气物接触，再使腔体内残留气体与激活的锆类吸气物接触，将真空度提升到１０＃＋［－３］ｐａ以上；组合机组包括真空度测量装置、主抽提吸气仓、副抽提吸...
该专利属于朱雷所有，仅供学习研究参考，未经过朱雷授权不得商用。

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