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无阀压电泵制造技术
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文档序号:2149920
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本发明属于流体机械领域,涉及一种波纹腔底无阀压电泵。目前的无阀压电泵都要在泵腔外安装控制流体流动方向的部件,不利于压电泵的进一步小型化。本发明如图所示,压电振子(2)与泵体(6)固联,压电振子(2)的正对面为波纹腔底(5),每个波纹单元由两...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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