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文档序号:2149200
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一种微型泵,其具有设置在一个中间柔性层(8)两侧的一个第一层(4)、一个第二层(6),以限定一个抽吸腔(12)。所述的抽吸腔(12)包含有中间层(8)的一个可致动部分(42)、以及抵靠该层(8)的入口孔(38)和出口孔(40)的阀座(30、...
该专利属于新加坡科技研究局所有,仅供学习研究参考,未经过新加坡科技研究局授权不得商用。
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