下载流体杀菌装置的技术资料

文档序号:21486593

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流体杀菌装置(10)包括划分出处理流路(28)的直管(12)、向处理流路(28)沿直管(12)的轴向照射紫外光的光源(40)、以及接收从光源(40)输出的紫外光的一部分的受光部(46)。直管(12)由氟树脂构成,且具有在上述直管(12)的外...
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