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本实用新型提供了一种石英杯，包括：杯体、杯盖和进气口；杯体为一端具有开口的中空长方体；杯盖盖合在杯体的开口处；至少两个进气口穿过杯体相对的两侧面，以使气体从杯体的一侧面流入后，从杯体的另一测面流出。此种方式，结构简单，而且气体通过进气口可均...
该专利属于沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司授权不得商用。

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