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本发明公开一种基于机械导轨和平面电机的位移装置，包括：工作台、基座、中层运动机构、一套第一类导轨、一套第二类导轨、第一类光栅尺和第二类光栅尺，其中，一套第一类导轨包括两个平行的第一类导轨，配置在与磁体块系统平行的一个XY平面上，用于连接中层...
该专利属于广东极迅精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东极迅精密仪器有限公司授权不得商用。

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