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本揭示提供一种晶圆清洗设备及控制晶圆清洗设备的毛刷组的方法。晶圆清洗设备包含：一毛刷组，与一第一驱动装置连接，且通过所述第一驱动装置的驱动带动所述毛刷组相对于一晶圆沿着一垂直方向运动；一荷重计，与一第二驱动装置连接，且通过所述第二驱动装置的...
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