下载一种有机退膜液的技术资料

文档序号:21473314

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本发明公开了一种有机退膜液,包括以下质量百分比的原料:有机碱30‑80%和水20‑70%,所述有机碱为单乙醇胺;将单乙醇胺均匀分散于水中,即可得有机退膜剂。本发明有机退膜液特别适合于精细线路干膜的去除,能有效去除夹膜,保证后续蚀刻的品质;退...
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