下载一种高速开关二极管芯片的技术资料

文档序号:21465960

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本实用新型公开了一种高速开关二极管芯片,所述芯片横截面为圆形,包括:衬底,所述衬底上表面生长有外延层;所述外延层上表面为第一氧化层,所述第一氧化层上光刻环形隔断槽,所述隔断槽内为扩散区,所述隔断槽外为截断环;所述第一氧化层上表面为第二氧化层...
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