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本实用新型实施例公开了一种进气顶盘及金属有机物化学气相沉积反应器，该进气顶盘中的气体匀化装置包括：第一分布板、多个通气腔体以及第二分布板，有源气体在气体匀化装置中不发生混合，第一分布板与进气通道对应设置，第一分布板上设置有多个通气孔，用于匀...
该专利属于中晟光电设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中晟光电设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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