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本发明涉及一种用于监控至少一个用于半导体基板(3)的传送和大气存储的运送盒(2)的泄漏密封性的装置(1)，所述运送盒(2)包括具有开口(5)的刚性壳体(4)、用于关闭开口(5)的可移除门(6)和至少两个通气端口(8、9)。控制装置(1)包括...
该专利属于普发真空公司所有，仅供学习研究参考，未经过普发真空公司授权不得商用。

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