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一种多尺寸混合纳米颗粒膏体及其制备方法技术
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文档序号:21456688
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本发明提供一种多尺寸混合纳米颗粒膏体及其制备方法,通过化学法制备大尺寸纳米铜膏体,再通过物理冲击的方法赋予小尺寸纳米金属颗粒动能,使其被打入大尺寸纳米铜膏体中,配置大小尺寸混合的纳米金属复合膏体。该膏体在使用于烧结工艺时,小尺寸纳米金属颗粒...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。
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