温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种部件接合装置、部件接合方法及安装结构体。在以高温将部件加热接合于基板时，避免基板的热膨胀的影响而实现部件与基板的高精度的定位。使用如下部件接合装置，其具备：保持部件的部件供给头；以及对基板进行加热并保持的加热工作台，所述加热工作台与...
该专利属于松下知识产权经营株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过松下知识产权经营株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。