专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
佳能株式会社
>
测量方法、测量装置、曝光装置以及物品制造方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载测量方法、测量装置、曝光装置以及物品制造方法的技术资料
文档序号:21452899
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开涉及测量方法、测量装置、曝光装置以及物品制造方法。测量方法具有:第1工序,将把具有多个第1标记的第1图案转印到基板的拍摄区曝光,一边以不产生与相邻拍摄区的重复的方式在行方向以及列方向上分别错开一边进行多次,从而在行方向以及列方向上分别...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。