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本发明涉及太阳能电池生产技术领域，具体地说是一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统，包括前溅射装置、蒸发装置和后溅射装置，所述前溅射装置、蒸发装置和后溅射装置内均设有柔性沉积轨道系统、刚性沉积轨道系统和多个腔室，柔性衬底通过所述柔性沉...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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