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本发明公开的干涉差动位移法微小力控制系统,属于精密测量技术领域。本发明主要由控制及信息输出模块、光学测量模块、微小力发生模块组成。控制及信息输出模块用于测量光学测量信号,微小力发生、解算、控制及信号的外部通讯。光学测量模块用于将测量值及计算...该专利属于中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所授权不得商用。