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本发明公开了一种高次谐波真空紫外光源与超高真空仪器的互联装置及方法。本发明在分光室中光栅单元采用非平面安装，在超紫外线XUV波段具有非常高的衍射效率，能够减少XUV脉冲的展宽；采用具有通孔的高次谐波闪烁体，能够直观地选择不同阶次的高次谐波；...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

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