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本发明公开了一种基于磁感应的平面位移传感器、位移检测方法及系统,基于磁感应技术的高精度平面位移传感器,所述的传感器内设置有处理器模块;还设置有按矩阵形式布置的磁场探测模块。通过本发明的传感器和位移检测方法,可以在磁场中的任意一个平面中,通过...该专利属于西安维控自动化科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安维控自动化科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种基于磁感应的平面位移传感器、位移检测方法及系统,基于磁感应技术的高精度平面位移传感器,所述的传感器内设置有处理器模块;还设置有按矩阵形式布置的磁场探测模块。通过本发明的传感器和位移检测方法,可以在磁场中的任意一个平面中,通过...