下载一种碳化硅单晶生长装置的技术资料

文档序号:21423593

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本发明公开了一种碳化硅单晶生长装置,包括工作腔体、可升降的穿设于工作腔体中的连接杆、用于驱动连接杆升降的第一驱动机构、设于工作腔体中的坩埚和用于为坩埚加热的加热机构;坩埚包括固设于连接杆底部的坩埚盖、可拆卸的连接在坩埚盖下方的坩埚本体;连接...
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