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一种在硅(211)衬底上生长硒化铋高指数面单晶薄膜的方法技术
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下载一种在硅(211)衬底上生长硒化铋高指数面单晶薄膜的方法的技术资料
文档序号:21423581
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本发明公开了一种在硅(211)衬底上生长硒化铋高指数面单晶薄膜的方法,包括以下操作步骤:1):对晶面取向为(211)的Si衬底进行闪硅处理或者化学腐蚀处理;2):升高Bi束流源温度,在步骤1)制得的Si(211)衬底上沉积生长Bi缓冲层;3...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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