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一种PIN二极管及其制备方法技术
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下载一种PIN二极管及其制备方法的技术资料
文档序号:21403050
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本发明公开了一种PIN二极管及其制备方法,所述PIN二极管包括依次层叠的第一电极、衬底、外延层、p型材料层和第二电极;其中,所述衬底为n型高掺杂的氧化镓衬底;所述外延层为n型低掺杂的氧化镓外延层。利用p型材料层、外延层以及衬底组成异质结,从...
该专利属于南方科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过南方科技大学授权不得商用。
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