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具有测试键结构的半导体晶元制造技术
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下载具有测试键结构的半导体晶元的技术资料
文档序号:21402865
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本发明提供一种具有测试键结构的半导体晶元。此半导体晶元包括一半导体基底,其包括一切割道区、一芯片区及位于其间的一密封环区。一测试垫结构及一测试元件设置于切割道区的半导体基底上。一导线设置于密封环区的半导体基底上,且导线的两端延伸至切割道区而...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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